濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)的重要要求。相對(duì)濕度是無(wú)塵車間和潔凈室運(yùn)行中常見(jiàn)的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車間和潔凈室典型相對(duì)濕度的目標(biāo)值控制在30-50%范圍內(nèi)，允許光刻區(qū)、遠(yuǎn)紫外處理區(qū)等存在加減1%的誤差，甚至更小，但也可以進(jìn)行相對(duì)濕度控制，在其他地方固定到5%左右。

相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：

1、細(xì)菌生長(zhǎng)；

2、工作人員感到室溫舒適的范圍；

3、出現(xiàn)靜電荷；

4、金屬腐蝕；

5、水汽冷凝；

6、光刻的退化；

7、吸水性。

細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。加濕器品牌排行榜

高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。

相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。民族品牌

在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)——?jiǎng)P爾文濃縮——當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

到目前為止，在半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中最迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的水準(zhǔn)。

實(shí)際上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。參考兩個(gè)城市，一個(gè)試驗(yàn)證實(shí)，相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。

此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對(duì)濕度的負(fù)面影響；較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。

總而言之半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中控制相對(duì)濕度不是隨意的。

工業(yè)加濕器種類

常見(jiàn)的工業(yè)加濕器種類有：濕膜加濕器、超聲波加濕器、離心加濕器、干蒸汽加濕器、電極加濕器、高壓微霧加濕器等。下面簡(jiǎn)單分析一下這些比較常見(jiàn)的工業(yè)加濕器產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。

濕膜加濕器

濕膜加濕器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)。主要作為中央空調(diào)處理器配套產(chǎn)品使用。其加濕原理十分簡(jiǎn)單，通過(guò)淋水器將水淋濕在濕膜表面，空調(diào)處理機(jī)中流動(dòng)的自然風(fēng)在穿過(guò)濕膜中空隙的同時(shí)，帶走膜體表面的水分，從而達(dá)到加濕的目的。從濕膜加濕器的發(fā)展過(guò)程來(lái)看。濕膜材料主要由以下幾種：

（1）玻璃纖維濕膜：吸水率高，加濕效果好，缺點(diǎn)是極易損壞，易碎，且使用年限不長(zhǎng)，更新頻繁。

（2）金屬濕膜：易清洗，使用年限長(zhǎng)，缺點(diǎn)是吸水性差，加濕效果不如其他濕膜材料好，采購(gòu)成本和使用成本相對(duì)較高。

（3）有機(jī)濕膜：合成樹(shù)脂纖維材料是目前濕膜加濕器的主流，具有玻璃纖維濕膜吸水率高，加濕效果好的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)又不易損壞，使用年限更長(zhǎng)，采購(gòu)成本和使用成本相對(duì)廉價(jià)，是目前使用最為廣泛的濕膜材料。

超聲波加濕器

超聲波加濕器具有靜音的特點(diǎn)，使用成本也不高，缺點(diǎn)是易損壞。由于超聲波加濕器的加濕方式特點(diǎn)，采用高頻率的震動(dòng)達(dá)到加濕目的，因此在長(zhǎng)期使用過(guò)程中，水中含有的鈣質(zhì)會(huì)積附在加濕器內(nèi)部，導(dǎo)致加濕器負(fù)荷升高，長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)導(dǎo)致?lián)p壞。因此使用超聲波加濕器應(yīng)當(dāng)需要注重注意使用水質(zhì)的清潔。

離心加濕器

離心加濕器具有加濕量大，加濕效果迅速，成本低廉的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是，離心加濕器產(chǎn)生的水霧顆粒粗細(xì)不均，空氣吸收性差一些，不適合對(duì)加濕要求嚴(yán)格的企業(yè)使用。其加濕原理是通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的離心霧化盤，使水在離心力的作用下高速甩出，打散成微顆粒的水霧，達(dá)到加濕的目的。離心加濕器除具有加濕的效果外，還具有降溫的功效，因?yàn)樗F在蒸發(fā)過(guò)程中吸收了空氣的熱量，因此使得環(huán)境溫度降低。

干蒸汽加濕器

干蒸汽加濕器具有加濕量大，加濕效果好，成本低的優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn)是干蒸汽加濕器本身不產(chǎn)生蒸汽，需要配套使用蒸汽源。

電極加濕器

電極加濕器是工業(yè)加濕器中應(yīng)用較為廣泛的一種，具有加濕量大，加濕精度高，加濕效果好等優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn)是能耗較高。其加濕原理是利用水中離子通電產(chǎn)生熱量的原理，加熱水至沸騰，產(chǎn)生蒸汽達(dá)到加濕目的。利用傳感器和控制器，控制加濕量的大小，實(shí)現(xiàn)精度加濕。