Valve Manifold Box，氣體閥門分配箱，以下簡稱VMB。

VMB是一種內嵌多支分發(fā)管與排氣管，實現(xiàn)高純氣體或或者液體分流的閥門箱。它能讓氣體從單一來源被分配到多點應用 ，而且對于每個使用點, 氣壓還可被單獨地調控, 從而滿足個別應用需求，是一種高精度的氣體設備。

VMB有手動分配箱和半（全）自動分配箱，兩者之間的區(qū)別在于是否通過PLC面板控制和系統(tǒng)功能的多少。咱們下面所講的就是半自動分配箱的功能和拆分。

VMB是被設計且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應，既然專為危險性氣體設計，那拆卸的時候豈不是很危險？當然不是，我們聰明又專業(yè)的設計工程師自然也考慮到了這一點。因此，我們的VMB是具有循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能的。能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部分，不僅如此，它還能在不影響其它應用點的氣體供應下, 單獨清洗某一氣體分發(fā)管或者對其進行真空抽氣。

功能咱們簡單介紹了，撒，讓我們開始拆分它吧！

一、 閥門箱VMB（Valve Manifold Box）硬件配置

1. 人機界面：作為人與控制器的控制與溝通界面。

一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，同時亦可接受操作人員下達的指令，作為系統(tǒng)運作的確認。

2. PLC：整體控制的處理中心。

3. 電磁閥：控制氣動閥的開閉。

(電磁閥為可撥式Type，可依需求強制開啟電磁閥)

4.遮斷按鈕：系統(tǒng)發(fā)生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥。

5. LED指示燈：以亮燈表示系統(tǒng)目前的狀態(tài)。

系統(tǒng)正常：（Normal）

存量不足：（Low Quantity）

異常報警：（Shutdown）Or (Warning)

6. 紫/紅外線火焰感知器：當感測到火災發(fā)生時作動，將訊息傳至PLC處理。

7. 差壓設定開關：當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作，將訊息傳至PLC處理。

8. 差壓計：顯示箱體與大氣壓之差壓。

9. 繼電器：依電路設計可作為控制或接點之輸出。

10. 電源供應器：因控制回路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply轉換。

11. 溫度開關：當感測到箱體溫度高于設定值時，將訊息傳至PLC處理。

12. I.A過流量開關：當驅動氣動閥之軟管松脫或爆裂導致流量過大，將輸出訊號告知。

二、 閥門箱VMB（Valve Manifold Box）安全功能介紹

1. 緊急停止按鈕：按下緊急停止按鈕即可關斷所有的氣動閥。

2. 遠程緊急停止控制：當遠程緊急停止動作驅動則即可關斷所有的氣動閥。

3. I.A壓力開關：當氣動閥驅動壓力不足時則會輸出警報告知。設定為 0.4 ~ 0.63 Mpa

4. 過溫開關：當偵測到箱體環(huán)境溫度高于設定值時則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。設定溫度為70℃

5. 紫/紅外線火焰感知器：當感測到火災發(fā)生時作動，則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件。

6. 過流量開關：當管路內的流量過大導致驅動過流量開關(EFS)，則會輸出警報告知并且自動關閉該使用側的閥件。

7. 壓差開關：當箱體內的壓差過小的狀態(tài)下，則會輸出警報告知。設定壓差為50 Pa以上。當壓差不足，當氣體外泄時時易發(fā)生氣體擴散出箱體，故開啟箱體門前敬請注意箱體與大氣的壓差是否足夠。

VMB氣體閥門分配箱，因其設計初衷和適用氣體，被廣泛用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED，研究所，高校實驗室等行業(yè)。比如：目前，因制程越來越先進，大流量特氣供氣的需求越來越多，產生了BSGS的系統(tǒng)，而為達到供應的穩(wěn)定，一臺會分配到多臺VMB。